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ESDP干式螺桿真空泵
吸入效率(提升15%)。 排氣效率改善(2級可變，連續(xù)可變頻率)。
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ESDP干式螺桿真空泵
圖文詳情
優(yōu)點特征
吸入效率(提升15%)。
排氣效率改善(2級可變，連續(xù)可變頻率)。
極限壓力：1*10-2Torr(托)。
排氣溫度降低50%。
電力消耗減少30%。
不使用油和水，不會造成油和水的污染。
低功耗、低噪音、低振動，動平衡好，沒有慣性力，可高速運(yùn)行。
設(shè)計結(jié)構(gòu)簡單，易保養(yǎng)，維修費(fèi)用低，沒有易損件，壽命長。
適用范圍廣，具有高真空性能。
使用壽命長，氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層。
不采用機(jī)械密封，密封部件無污染，不會因污染而頻繁發(fā)生故障。
前后采用稀有潤滑方式，提高軸承耐用性。
標(biāo)準(zhǔn)配件
基座和防護(hù)罩
排氣消聲器及進(jìn)氣分離器
吸氣口
止回閥
真空計
可選配件
吸濾器
排氣冷凝器
吸入式氣液分離器
流量開關(guān)及溫度開關(guān)
ESDP干式螺桿泵的應(yīng)用范圍
ESDP系列在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用，主要有半導(dǎo)體等離子增強(qiáng)氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝，液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護(hù)工件免受污染。
在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。
制藥行業(yè)，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。
化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝
工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng)
擠出機(jī)的混合工藝及板材的排氣工藝
混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物
食品行業(yè)用于香料、香精濃縮，食品包裝等。
技術(shù)參數(shù)
| 型號 | 抽氣量 | 極限 壓力 | 電機(jī) 功率 | 轉(zhuǎn)速 | 進(jìn)氣 | 排氣 | 冷卻 水量 | 噪聲 | 重量 |
| M3/h | Pa | KW | rpm | mm | mm | L/min | dB | Kg | |
| ESDP320 | 260 | 1.33 | 7.5 | 2900 | 65 | 50 | 10 | 80 | 320 |
| ESDP430 | 360 | 1.33 | 11 | 2900 | 65 | 50 | 12 | 80 | 380 |
| ESDP650 | 540 | 1.33 | 15 | 2900 | 80 | 65 | 12 | 80 | 580 |
| ESDP900 | 750 | 1.33 | 18.5 | 2900 | 100 | 65 | 20 | 80 | 680 |
| ESDP1500 | 1400 | 1.33 | 37 | 2900 | 125 | 80 | 30 | 82 | 950 |
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